工艺概述

在半导体和精密制造领域,喷涂工具用于在基板表面沉积功能性涂层。臭氧辅助喷涂技术利用臭氧的强氧化性来改善涂层附着力和均匀性。工艺过程中产生的含臭氧尾气需要经过分解处理后才能排放。

尾气特征

  • 中低浓度臭氧

    喷涂工艺中臭氧浓度通常在中等水平

  • 间歇式工作

    喷涂工具通常为间歇式工作模式

  • 涂层副产物

    可能含有涂层材料的微量挥发物

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