F3
F3 高效型臭氧分解器
大流量高效臭氧分解器，在100mg/L浓度下流量可达≤12L/min，200ppm浓度下流量可达≤90L/min，分解能力99.9%，是高产能半导体产线的理想选择。
高效型
大流量
99.9%分解
高产能
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大流量高效臭氧分解器，在100mg/L浓度下流量可达≤12L/min，200ppm浓度下流量可达≤90L/min，分解能力99.9%，是高产能半导体产线的理想选择。
| 尺寸 | 400×102mm |
| 处理能力 | 干燥臭氧气体 |
| 流量（100mg/L） | ≤12L/min |
| 流量（200ppm） | ≤90L/min |
| 工作压力 | 进气压力＜0.1MPa |
| 接口标准 | 可定制 |
| 重量 | 6kg |
| 分解能力 | 99.9% |
200ppm浓度下流量可达≤90L/min，是F2标准型的3倍处理能力，满足高产能产线需求。
高效催化分解，臭氧分解率达99.9%，确保尾气排放安全达标。
接口标准可根据客户需求定制，灵活适配各类工艺设备和管路系统。
化学气相沉积工艺中的臭氧尾气处理
原子层沉积工艺中的臭氧尾气处理
金属有机化学气相沉积工艺尾气处理
灰化炉工艺中的臭氧尾气处理
湿法清洗工具中的臭氧尾气处理